رزوناتور دو بعدی محکم نصب شده - کامسول

Solidly Mounted Resonator 2D

تشدید کننده با نصب جامد (SMR) یک تشدید کننده پیزوالکتریک MEMS است که در بالای یک پشته آینه صوتی که روی یک بستر ضخیم قرار گرفته است، تشکیل شده است. این آموزش نحوه شبیه سازی SMR را در دو بعدی نشان می دهد. در این مثال، حالت های ویژه محاسبه شد و پاسخ فرکانسی از 500 تا 1200 مگاهرتز مورد تجزیه و تحلیل قرار گرفت. منحنی امپدانس محاسبه‌شده و مشخصات جابجایی به خوبی با نتایج شبیه‌سازی موجود در ادبیات مطابقت دارد.

A solidly-mounted resonator (SMR) is a piezoelectric MEMS resonator formed on top of an acoustic mirror stack deposited on a thick substrate. This tutorial shows how to simulate an SMR in 2D. In this example, the eigenmodes were computed and the frequency response from 500 to 1200 MHz was analyzed. The computed impedance curve and displacement profile agree reasonably well with the simulation results found in literature.