بلاگ

مدل راکتور پلاسمای جفت شده القایی آرگون/کلر با بایاس RF – کامسول

بهمن 1, 1401

ارسال شده توسط arman

1.22k بازدید

Model of an Argon/Chlorine Inductively Coupled Plasma Reactor with RF Bias

این مدل آموزشی برای یک راکتور پلاسمای جفت شده القایی با بایاس RF (همچنین به عنوان راکتورهای ICP/CCP شناخته می‌شود) در مخلوطی از آرگون/کلر حل می‌شود. این مدل جریان سیال و گرمایش گاز را محاسبه می کند. جنبه‌ها و استراتژی‌های مهم برای مدل‌سازی تخلیه‌های الکترونگاتیو مورد بحث قرار گرفته‌اند.

This tutorial model solves for an inductively coupled plasma reactor with RF bias (also known as ICP/CCP reactors) in a mixture of argon/chlorine. The model computes the fluid flow and gas heating. Important aspects and strategies for modeling electronegative discharges are discussed.